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SEM显微镜氮化硅膜观测窗口

苏州原位芯片科技有限责任公司

企业性质生产商

入驻年限第5年

营业执照已审核
同类产品TEM(3件)

产品应用

·纳米材料，半导体材料，光学晶体材料，功能薄膜材料

·胶体，气凝胶，有机材料和纳米颗粒的表征实验

·含碳样品分析（光阻剂，聚合物，食品，油品，燃料等)

·用于化学反应及退火效应的原位表征

·作为生物、细胞载体

liquid chips cell4.jpg


技术参数

TE同步辐射氮化硅薄膜窗口

外框项目

参数

外框

参数

材料

N/P 型硅片

  电阻率

1~10Q*cm

氮化硅项目

  参数

  氮化硅项目

  参数

材料

  LPCVD 氮化硅  

应力

<250MPa

介电常数

6-7

介电强度

10 (106V/cm）

电阻率

1016Ω*cm

粗糙度（Ra)

0.28±5% nm

折射率@630nm

2.15-2.17

  粗糙度(Rms)

0.40±5% nm


产品型号

产品编号

膜厚

窗口尺寸

框架大小

TE025Z

10nm

0.25x0.25mm

5x5mm

TE050Z

10nm

0.5x0.5mm

5x5mm

TE025Y

20nm

0.25x0.25mm

5x5mm

TE050Y

20nm

0.5x0.5mm

5x5mm

TE025

30nm

0.25x0.25mm

5x5mm

TE050A

30nm

0.5x0.5mm

5x5mm

TE100A

30nm

1x1mm

5x5mm

TE025B

50nm

0.25x0.25mm

5x5mm

TE050B

50nm

0.5x0.5mm

5x5mm

TE100B

50nm

1x1mm

5x5mm

TE150B

50nm

1.5x1.5mm

5x5mm

TE200B

50nm

2x2mm

5x5mm

TE025C

100nm

0.25x0.25mm

5x5mm

TE050C

100nm

0.5x0.5mm

5x5mm

TE100C

100nm

1x1mm

5x5mm

TE150C

100nm

1.5x1.5mm

5x5mm

TE200C

100nm

2x2mm

5x5mm

TE75050C

100nm

0.5x0.5mm

7.5x7.5mm

TE75200C

100nm

2x2mm

7.5x7.5mm

TE100300C(5pcs)

100nm

3x3mm

10x10mm

TE100500C(5pcs)

100nm

5x5mm

10x10mm

TE010D

200nm

0.1x0.1mm

5x5mm

TE025D

200nm

0.25x0.25mm

5x5mm

TE050D

200nm

0.5x0.5mm

5x5mm

TE100D

200nm

1x1mm

5x5mm

TE150D

200nm

1.5x1.5mm

5x5mm

TE200D

200nm

2x2mm

5x5mm

TE250D

200nm

2.5x2.5mm

5x5mm

每盒包含10枚芯片