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北京芯伏 应力双折射快速/实时测试仪

芯伏(北京)检测科技有限公司

企业性质生产商

入驻年限第5年

营业执照已审核
同类产品应力双折射测试(1件)


本应力测试系统结构简单,虽然仍基于光弹性原理,但在应力信息处理和提取方式上不同于传统的光弹性方法,主要体现在以下几个方面:

 动态性:

本系统采用像素偏振相机记录光弹图像,实现了动态相移,可实时显示定量测试结果(应力双折射场和主应力方向场)。可用于器件生产过程中的在线测量。

 便利性:

只需把试件放在测试平台上,不需要转动试件和任何光学元件,即可通过软件在十秒内获取试件各应力分量的信息(市面上尚未见到其它有类似功能的在售设备)

 高灵敏度

比起传统的光弹条纹场,本系统的测试结果对应力的变化更灵敏(至少高一倍)。

 良好的客观性

在相同的相机参数和软件参数设置下,不会出现传统测试中因人而异的测试结果。

 完善的软件操作

除了试件识别环节,其它所有操作都有经过优化的缺省值,用户直接点击“下一步”即可;获得各应力分量场后,用户还可以查看任一横、纵截面上的应力分布曲线。

主要技术指标

-     图像分辨率: 1024×1048像素。

-     测试平台尺寸范围:150mm×150mm — 500mm×500mm (标准型),定制型可达1.5m见方。小尺寸平台可倾斜15度,便于晶体试件测试(晶体试件的晶面与试件平面不一定平行);

-     双折射量程:基本型: 160nm;  增强型:1500nm

-     分辨率与精度(0.8mm厚的钙钠玻璃为例)

   应力分辨率:0.2MPa, 应力测试精度:1.0MPa;

   双折射分辨率:0.1nm, 精度:1.0nm;

  重复性:优于0.2nm.

系统配置

-   主测试系统一套:包括光学平台、手动升降立柱、相机一台(含定焦和3X变焦镜头各1个);

- 高配电脑一台(含软件一套)。

应用领域

透明的玻璃/石英器件、注塑器件、手机膜、SiC晶圆等试件内部残余应力的测试。