企业性质一般经销商
入驻年限第5年
徕卡全手动正置材料显微镜-Leica DM3 XL概述
徕卡全手动正置材料显微镜-Leica DM3 XL检验系统,快速检测,快速响应。在微电子和半导体的检验、过程控制或缺陷和故障分析中,检测速度快,响应速度快。视场宽敞30%,可快速扫描6"样品组件,DM3 XL检验系统凭借大视场能更快地识别缺陷,提高工作效率。
徕卡全手动正置材料显微镜-Leica DM3 XL性能
• 快速检测,快速响应,视场宽敞30%,DM3 XL检测系统能有效节省检验时间
• 快速扫描 6"的样品组件,放大倍率0.7X宏观物镜即刻采集35.7mm的视场
• 更多细节尽收眼底,常规物镜看不到的区域在宏观概览下无所遁形,可靠检测晶片边缘或中 心显影不足的区域,检测不均匀的径向膜厚度
• 适用于所有相衬观察方法的LED,提供恒定色温,真彩色成像,始终可看到相同颜色样品,获得可复制的结果,LED使用寿命可达35000小时,且低能耗,节约成本
• 特有的光学特性,采用斜射照明检验侧面、边缘或碎屑,以简单有效的方式从不同角度照亮样品,从而实现各种形貌的可视化。借助深暗场对比检测样品较低层中的微小划痕或小颗粒
• 不同样品–可变载物台插件,有种类丰富的载物台插件供选择,满足各种尺寸试样的检测需要
• 工作舒适直观,采用人体工学设计,舒适性好,操作更简单
徕卡全手动正置材料显微镜-Leica DM3 XL技术参数
系统 | Leica DM3 XL技术参数 | |
显微镜支架 | 固定的金属支架 | |
调焦 | 2档调焦(粗调/微调,采用1μm测微尺刻度,带顶部调焦限位装置)或 3档调焦(粗调/微调,采用1μm和4μm测微尺刻度,带顶部调焦限位装置) 扭矩粗调焦,可调载物台高度挡块 | |
载物台冲程 | 30mm | |
入射光 | 坚固的入射光轴,带4位反射镜转盘 | |
适用于BF/DF/POL/DIC和FLUO: ›带斜射照明 ›带彩色编码光圈辅助(CCDA) ›带中 心孔径可变光阑 ›带入射光滤片匣(双滤片,直径32mm) | ||
下列光源可适应所有入射光轴: ›LED-灯箱,带入射光亮度内部显微镜空件 ›镜像室106,适用于两种光源的同步调整 ›荧光照明SFL 100、4000和7000 ›EL6000、Hg50、Hg100、Xe75 ›12V100W卤素光源(106或107/2系列灯箱),带独立变压器 | ||
物镜转盘/物镜 | 5孔 BF/DF M32、6孔 BF M25物镜转盘: ›5X、10X、20X高反差平场消色差EPI物镜 ›2.5X-100X平场消色差EPI物镜 ›1.25X-100X平场半复消色差物镜 ›0.7X宏观50X、100X、150X平场复消色差物镜 | |
LED照明 | 适用于所有相衬观察方法的LED ›在所有亮度等级下实现真彩色成像 ›自由调节 ›无需更换灯泡 – 无停机时间 ›可复制的结果 | |
载物台 | 有种类丰富的载物台插件供选择,适合多种类型和尺寸的试样检验: ›载物台尺寸:150x150mm ›载物台插件:金属插件、晶片支座或掩模支座 ›快速的粗略或jing准载物台定位 | |
附件 | 选配放大倍率调节器(1X、1.5X、2X) | |
选配测量载物台,适用于X、Y和Z向测量 | ||
透射光 | 借助带光纤的外部冷光源照明 | |
电源 | 稳定的通用电源单元,90-230V |