Gatan SmartEMIC 电子束感应电流测量系统

产品功能介绍

        EBIC分析系统，可以实时软件控制全自动采集电子束感生电流（EBIC）信号，获得EBIC图像信息，还可以获得IV曲线信息，可以测试PN结位置，宽度，少子扩散长度，材料或器件的失效点定位，广泛应用于电子半导体领域。

产品系统特点：

        高性能、地噪声EBIC系统，进行定量EBIC测量。界面友好的智能分析软件运行于DigitalMicrograph软件平台。

        用于SEM的SmartEBIC 系统包括：

        •计算机控制的、充电电池供电的EBIC放大器

        •高级EBIC样品座(ASH)，并配有可调节的钨探针以进行台式接触。配以适当的Gatan适配器还可以通过空气锁来装载试样*

        • 与SEM样品台接口

        •链接插座及4个BNC型的电缆链接，低噪声这空馈通，适于EBIC和电子束流的测量

        •具有Fireware技术的DigiScan II数字电子束控制系统。它包括两个模拟输入，可同时采集摄影质量的图像，并可灵活控制像素强度、每点驻留时间、扫描旋转等。对于某些SEM，它还可以通过软件通讯SEM的操作参数。

        •配有先进的SmartEBIC应用插件的Digital Micrography软件，以进行定量测量、线性轮廓的实时和后处理分析

        产品主要技术参数：

        SmartEBIC可以对EBIC信号进行自动控制采集和定量分析:

        扫描控制系统:

  1、1-, 2- or 4-比特数据采集提供了超大的动态范围

  2、从 16 x 1 至 8000 x 8000 像素扫描分辨率

  3、电子束停留时间，在0.5毫秒/像素到300毫秒/像素之间可调

  4、自动调节图像显示大小，使得EBIC实验过程变得更方便

*5、配置Digi-Scan控制器，实时软件控制全自动采集，可以在EBIC信号的采集时就对信号进行定量分析，无需附加的后处理，

*6、不仅获得EBIC图像信息，还可以获得IV曲线信息。

        噪音控制:

  1. 特别设计的EBIC附属样品台

  2. 同轴绕线方式

  3. 可重复使用的铅酸电池 (15小时续航时间)

  4. 可以改变放大器的增益，从而优化数据采集的信噪比和带宽

  5. 两种可选的一阶RC滤波器 ，低通或高通滤波

  6. 低漂移放大模式

  7. 在与PC通讯的时间以外，系统的微处理器会自动切换到睡眠状态

  8. 丰富的图像处理工具。包含锐化工具、平滑工具和傅立叶变换工具等。  

  9. 可以适配与Lock-in技术（本系统并不提供，这样的配置系统将不会对EBIC信号定量分析）

        追踪:

        通过软件实现。在12bit（1.22mV）采集分辨率模时为+/-5V。

        自动化:

        即使在放大器参数设定欠佳的条件下，系统也能自动优化图像的显示大小，从而提供更方便的图像浏览

        可以对放大器的偏移/增益进行自动设置

        软件:

        流程式一维扩散长度测量

        广泛的面扫/线扫描分析工具，包括数学分析工具，滤波应用等

        广泛的图像显示方案选项，包括二次电子图像与EBIC图像的叠加

        编程语言可助您为自己的实验编写定制化软件

        产品主要应用领域：

        测试PN结位置，宽度，少子扩散长度金属材料

        材料或器件的失效点定位

        测试半导体材料的位错密度

        IV特性测试

        应用实例：

        应用一：测试PN结位置，宽度，少子扩散长度

应用二：材料或器件的失效点定位

​