GATAN SOLARUS (955)Plasma Cleaning System等离子清洗仪

产品功能介绍
　　等离子清洗技术起源于约30年前的半导体行业,等离子清洗主要用于清洗样品表面的碳氢化合物.等离子清洗的关键要点在于：不能改变样品本身的化学组成;不能改变样品的结构特征;不能损伤样品表面.

技术特点：
　　Solarus是一种独特的清洗解决方案，它利用等离子配方，对于所有的样品，包括Holey碳膜，都具有更快更彻底的清洗效果。该设备能安全地清洗掉表面沉积的污染物—扩展了对已经被污染的样品的观察时间。采用分子泵搭配多级隔膜泵的真空系统可确保快速可靠的抽气效果。不到1分钟的抽气与放气时间，30秒--2分钟的清洗时间，整个过程不用2分钟。

使用等离子清洗的hao处：
增强成像能力
提高元素分析的准确性
在SEM中，延长EDX和EBSD的观察和采集时间
可使用更小的束斑，这对于TEM/STEM中的STEM和EELS分析非常重要。

特点：
1.)独特的H2/O2配方
2.)更快的清洗周期（不到2分钟）
3.)交互式的触摸屏设计
4.)提供7种经测试过的一键操作式配方
5.)2个用于装载侧插TEM和SEM样品杆的前置装样口
6.)顶部装样口可装载多个（>25）TEM微栅或者SEM样品台/样品
7.)自动匹配功率的射频源确保等离子源的长时间稳定
8.)精确的气体流量控制（质量流量计）
9.)最小损伤的清洗Holey碳膜
10.)支持多种语言（英语、中文、日语、韩文、法语、德语）

技术参数：
射频源:  50瓦的射频电源，具有功率自动匹配功能
真空系统：70升/秒的分子泵搭配两级隔膜泵
气压： 5E-6 Torr基本压力，400mTorr工作压力 
真空规：紧凑的皮拉尼规
舱室：
 两个前置接口能装载TEM适配器，用于装载侧插TEM样品杆和SEM样品杆
 顶部入口用于放入SEM样品台，显微镜镜筒部件或者各种真空件
         舱室尺寸为3.5”直径 x 2.0” 深度
 前置观察窗能观察工作时的等离子体发光
    内置的电磁阀将舱室与真空泵之间隔离开，抽真空时间不到1分钟，放气时间小于5秒。
气体控制：采用精确的质量流量计来测量及控制气体流量
气体种类：采用三路独立气体（H2，O2和Ar）
清洗配方：提供包含有H2/O2配方等一系列配方，同时支持用户自定义配方
用户界面：采用交互式触摸屏，提供包含有中文、英文等多种语言界面
电源：通用电压/频率100VAC - 240VAC/50-60Hz/1000W

产品主要应用

去除碳氢化合物对TEM和SEM样品台或样品的污染

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