1.技术特征
高倍率双目双视场显微镜和 22 英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程,并提供 USB 输出;既满足高精度对准,又
可用于检测曝光结果,且曝光结果和方便存储
采用倒置式照明,更换汞灯更方便,散热和防漏光效果更好
对准位和曝光位双工位工作,双工位自动切换
采用嵌入式计算机+触摸屏操作,操作更方便,更时尚
上下片、版十分方便,自动化程度高,操作简便。对高校教学科研(可靠性好,演示方便)及工厂(效率高)尤为适宜
2.技术参数
曝光面积:100mm×100mm(可升级为 6 英寸)
曝光波长:365nm
分辨力:≤1 μm(胶厚 1.5 μm 的正胶)
对准精度:±0.6 μm
显微镜扫描台运动范围:X:10mm;Y:10mm
掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
样片尺寸:直径 ±15mm-- ±100mm(各种不规则片),厚度 0.1mm--6mm
曝光方式:定时和定剂量
具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能30
照明不均匀性: 3%(±100mm 范围)
双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,
光学+电子放大 800 倍
物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍
曝光对准双工位自动切换
调平接触压力通过传感器保证重复
数字设定对准间隙和间隙
具备压印模块接口,也具备接近模块接口
掩模相对于样片运动行程:
X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф: ±6º
最大焦厚:400 μm(SU8 胶,用户提供检测条件)
光源平行性:3 º
曝光能量密度:>25mW/cm2,照明面温度<35 ºC
单层曝光一键完成
采用球气浮+三爪找平
汞灯功率:350W(直流,进口)
3.外形尺寸:1400mm(长)±900mm(宽) ±1500mm(高)
4.配置
(1)曝光头
冷光椭球镜
350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
XYZ 汞灯调节台
冷却风扇
光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(79 个透镜)、i 线滤光片、场镜、
冷光反射镜 1、反射镜 2
(2)对准工件台
光刻机底座
工位切换台(气缸)
掩模样片整体运动台
掩模样片相对运动台
转动台
样片调平机构,三点自动完成
样片调焦机构,电机自动调
基片抽拉式上下机构
承片台 4 个:15mm 、40mm、60mm、100mm(可按用户要求增减)
掩模夹 4 个:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸(可按用户要求增减)
样片抽拉式上下机构
(3)对准显微镜
光源、 电源
双目双视场对准显微镜主体
目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)
物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)
CCD 对准系统,22 寸液晶显示器
(4)电控系统
汞灯触发电源(350W 直流汞灯)
单片机控制系统
控制面板
控制柜桌
(5)气动系统
气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
电磁阀驱动
气动仪表
(6)其他附件
真空泵一台
空压机一台
配套接口管道
十一、URE-2000/25 型光刻机
1.技术参数
曝光面积:4 英寸
曝光波长:365nm
分辨力:1 μm(胶厚 2 μm 的正胶)
对准精度:±0.8μm
掩模样片整体运动范围:X:15mm;Y:15mm
掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
样片尺寸:直径 ±15mm-- ±100mm(各种不规则片),厚度 0.1mm--6mm
曝光方式:定时和定剂量
照明不均匀性: 3%( ±100mm 范围)
双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,
光学+电子放大 800 倍
物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对:4 倍、10 倍、20 倍
掩模相对于样片运动行程:
X: ±5mm; Y: ±5mm;Ф : ±6º
最大焦厚:350μm(SU8 胶,用户提供检测条件)
光源平行性:3.5 º
曝光能量密度:>20mW/cm2,照明面温度<35 º
汞灯功率:350W(直流,进口)
2.外形尺寸:1200mm(长)900mm(宽) 1750mm(高)
3.配置
(1)曝光头
冷光椭球镜
350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
XYZ 汞灯调节台
冷却风扇
光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(79 个透镜)、i 线滤光片、场镜
1、场镜 2、冷光反射镜 1、反射镜 2
(2)对准工件台
掩模样片整体运动台
掩模样片相对运动台
转动台
样片调平机构, 手动
样片调焦机构,手动
承片台 3 个(Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm)
掩模夹 4 个(2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸)
基片抽拉式上下机构
(3)对准显微镜
光源(配备品 2 只)、 电源
双目双视场对准显微镜主体
目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)
CCD 及 21 英寸液晶显示器
物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)
(4)电控系统
汞灯触发电源(350W 直流汞灯)
单片机控制系统
控制箱
(5)气动系统
气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
电磁阀驱动
气动仪表
(6)其他附件
真空泵一台
空压机一台
管道
十二、URE-2000/17 型光刻机(台式)
1.技术参数
曝光面积:4 英寸
曝光波长:365nm
分辨力:1.5μm(胶厚 2 μm 的正胶)
对准精度:±1μm
掩模样片整体运动范围:X:15mm;Y:15mm
掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
样片尺寸:直径 ±15mm-- ±100mm,厚度 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm)
曝光方式:定时和定剂量
照明不均匀性: 5%(±100mm 范围)
双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,
光学+电子放大 800 倍
物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍
掩模相对于样片运动行程:
X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф: ±6 度
汞灯功率:200W(直流)
曝光能量密度:6mW/cm
2.外形尺寸:650mm(长)±600mm(宽) ±900mm(高)36
3.配置
(1)曝光头
200W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
XYZ 汞灯调节台
光学系统
冷却风扇
(2)对准工件台
掩模样片整体运动台
掩模样片相对运动台
转动台
样片调平机构,手动
样片调焦机构,手动
承片台 3 个(50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm )
掩模夹 4 个(2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸)
掩模抽拉式上下机构
(3)对准显微镜
光源(配备品 2 只)、电源
双目双视场对准显微镜主体
目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)
物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)
CCD(台湾)
21 寸液晶显示器
(4)电控系统
汞灯触发电源(200W 直流汞灯)
单片机控制系统
控制机箱
(5)气动系统
气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
电磁阀驱动
气动仪表
(6)其他附件
真空泵一台
管道