美国Newport 高能量准分子激光器

我们的高能量准分子激光器专为最严苛的紫外应用而设计，采用低损耗电介质涂层，可最大限度地减少散射并使反射能量最大化。

• 高反射率电介质涂层

• 高损伤阈值

• 优化0-45°AOI

• 紫外熔融石英基板，可降低热效应和吸收效应

产品规格：

特征：

0° 入射角涂层

我们提供为KrF (248 nm)、XeCl (308 nm) 和 XeF (351–353 nm) 激光 0°角入射的镀膜准分子镜。在波长为248、308和 351-353 nm处的反射率大于 99％。

45° 入射角涂层

我们提供为KrF (248 nm)、XeCl (308 nm) 和 XeF (351–353 nm) 激光 45°角入射的镀膜准分子镜。在波长为248、308 和 351-353 nm处的反射率大于 99％。

紫外熔融石英基片

紫外熔融石英是一种合成的无定型二氧化硅，具有极高的纯度和低吸收性。这种非晶态、无色的石英玻璃具有极低的热膨胀系数，良好的光学性能和高损伤阈值。因此，与其他基底材料相比，这些反射镜在温度波动时表现更好，并且对环境影响具有更好的耐受性。