企业性质
入驻年限第10年
结合jandel公司生产的四探针探头对晶片的电阻率进行测量。
主要特点:
可简单预设待测晶片上1到25个测量位置;
8英寸/6英寸晶片真空吸盘;
带有电流开关的杠杆操作探头,可避免产生火花;
定位精度小于±1mm;
幻灯片准确度不高于测量区域;
遮盖待测区域,消除光电干扰;
技术指标:
8型号表 | 具有真空卡槽、定心凹槽,镊子切口的硬铝合金 |
晶片尺寸 | Φ=5/6/8 |
预设测量位置 | 中心点:垂直直径四个点,32,38,50,57,68,94mm 晶片 1/2R 距边缘6mm 5 32mm 57mm 6 38mm 68mm 8 50mm 94mm |
6号晶片尺寸 | Φ=3/4/5/6 |
预设测量位置 | 中心点;垂直直径四个点,15,20,25,35,50,60mm |
可配 | 真空线路、真空泵 |
外形尺寸 | 355mm * 215mm * 195mm(H) |
净重 | 6:3.5kg 8:4.0kg |