企业性质一般经销商
入驻年限第3年
型号
YSP600U
YSP2KU
模式
RIE(DP模式选购)
高频输功率
600W
2000W
反应台尺寸
W300×D300mm
W600×D600mm
反应气体
2进气系统(氧气、氩气)
反应气体流量控制
质量流量控制器
气体导入口
反应气体2个、填充气体1个、空气1个
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