等离子灰化机 PR500/510

·PR500/510等离子灰化机

高频输出 50~500W,反应腔 Φ215×305mm 

低温等离子·经典桶型。 

PR500：手动控制 PR510：自动触摸屏控制

低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。

用途 

·去除光刻胶

·部品清洗

·界面活性处理

·微研磨

·硅晶圆，玻璃基板对应 

特征 

·大口径（Φ215mm）石英反应腔

·小型一体化设计

·操作简单的触摸屏方式（PR510型） 
 

规格 

型号		PR500	PR510
模式		DP模式，桶型
控制部	高频输出功率	Max500W
	频率	13.56MHz
	同调方式	自动协调
反应部	反应腔	石英 Φ215×305mm
	反应气体	2系统（O2／CF4）
	控制	手动	触摸屏自动控制
	配管材质	不锈钢、特氟龙
外形尺寸		W438×D520×H760mm	参照规格书
重量		约60kg	参照规格书
电源		单相AC100V 9A	三相AC200V 8A