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iPHEMOS-DD倒置发射显微镜 C10506-05-16

滨松光子学商贸(中国)有限公司

企业性质生产商

入驻年限第9年

营业执照已审核
同类产品失效分析系统(4件)
连接示例

产品特征

● 可安装用于光发射分析和热分析的两个超高灵敏度相机


● 可安装最多3个波长的激光器和一个EOP探头光源


● 配备适合不同样品的光学工作台


● 高灵敏度微距镜头和最多10个适合每个探测器灵敏度波长的镜头

产品选配

● 激光扫描系统
● 高灵敏度近红外相机进行光发射分析
● 高灵敏度中红外相机进行热分析
● 红外-光致阻值改变(IR-OBIRCH)分析
● 激光辐射动态分析
● EO侦测分析
● 纳米透镜进行高分辨率、高灵敏度分析 
● 连接到CAD导航
● 连接到LSI测试仪

显示功能

叠加显示/对比度增强功能

iPHEMOS-DD将发光图像叠加到高分辨率模板图像上来快速定位缺陷点。对比度增强功能可使图像更清晰,细节更多。


显示功能

  • ● 注释
    ● 图像的任何位置都可以显示评论、箭头等注释符号。
  • ● 比例显示
    ● 可使用分段,在图像上显示比例宽度。
  • ● 栅格显示
    ● 图像上可显示水平和垂直栅格。
  • ● 缩略图显示
    ● 图像可以以缩略图的形式存储和调用,stage坐标等图像信息也可显示。
  • ● 分屏显示
    ● 图案影像、发射图像、叠加图像以及参考图像可一次显示在4个窗口的屏幕上。



详细参数
线性电压AC 200 V (50 Hz/60 Hz)
功耗Approx. 1400 VA (Max. 3300 VA)
真空Approx. 80 kPa or more
气压0.5 MPa to 0.7 MPa
尺寸/重量Main unit: 1980 mm (W)×1270 mm (D)×834 mm (H), Approx. 1700 kg
Control rack: 880 mm (W)×700 mm (D)×1842 mm (H), Approx. 300 kg
Optional desk: 1400 mm (W)×800 mm (D)×700 mm (H), Approx. 60 kg

* iPHEMOS-MP主体机台包括探针台和其他相连接的装置。

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