德国BMT SMS专家级测量系统（共聚焦原理）

德国BMT SMS专家级测量系统（共聚焦原理）
SMS专家级测量系统（共聚焦原理）依据不同的需求配置不同的传感器：光谱传感器、三角测量传感器、白光干涉系统、共焦传感器、自聚焦传感器、触针式传感器。

主要用途.

◆ 任何粗糙、光滑表面检查和测量（可选用不同的传感器）
◆ 用于金属片、纸、玻璃塑胶、晶片、刀具等行业
◆ 其他表面的微观形貌测量
◆ 微型机械元件的尺寸测量
◆ 金相测量
◆ 微小或较大区域内直线度、平面度、台阶高度、粗糙度的测量计算

主要特点

● 非接触测量表面形貌，2D/3D，垂直和横向尺寸测量；

● 粗糙和光滑表面测量；

● 粗糙度参数测量，FFT，ACF，平面斜面及台阶高度测量；

● 金属片，玻璃，塑料，晶片及其他物体的微观形貌；

● 表面反射率对测量结果无影响。

技术参数

共聚焦显微镜头

● 垂直测量范围 （mm） 1

● 垂直分辨率 （nm） 30

● 横向分辨率 （μm） 3

● 工作距离，约 （mm) 24

● 光斑尺寸，约 （μm) 6

● 测试频率 （kHz） 1～10

移动平台

● X、Y、Z轴 （mm） 50

● 步长 （μm） 0.5