磁控溅射仪JS-1600M

一、产品应用：

JS-1600M型磁控溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的，最简单、可靠、经济的镀膜设备。适用于电镜实验室的扫描电子显微镜（SEM）样品制备，非导体材料实验电极制作。

二、配置及技术指标：

1.本系统装配了水冷却磁控靶，靶面直径为50mm

2.主机规格：L360mm*W300mm*H380mm

3.靶（上部电极）：金：直径：50mm，厚度：0.1mm

4.真空样品室： 直径：160mm，高：120mm

5.溅射面积： Ф50mm

6.真空指示表： 最高真空度：≤ 4X10-2 mbar

7.离子电流表： 最大电流：100mA

8.定时器： 最长时间：3600S

9.微型真空气阀： 可连接φ3mm软管

10.可通入气体： 多种

11.最高电压： -1600 DCV

12.机械泵： 2L/S

三、产品特点

1.轻便、溅射面积大

2.可以溅射铂、金及银等金属

3.溅射效率高，可水冷降温