PCE-8等离子清洗机

PCE-8等离子清洗机是一款较大型的等离子清洗机，等离子腔体为Φ8.5"×12"的石英腔体，采用的射频电源功率0-100W连续可调节。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

主要特点

1、采用6″彩色触摸屏，可控制射频功率、清洗时间、气体流量、真空泵的开启等。

2、内部配有0-500mm/min的质量流量计，可以精确地控制进气流量。

技术参数

1、电源：AC220V

2、射频功率：最大100W，可在0-100W间调节

3、真空泵功率：<500W

4、总功率：<600W

5、射频：13.56MHz

6、等离子腔体：高纯石英腔体，外径Φ8.5"，内径Φ8.2"，长12"，采用铝制折叠式法兰进行真空密封，法兰设有一个

Φ60mm的观察窗口

7、极限真空度：50mtorr

8、通入气体：可通入多种气体，如N₂、Ar、Air、H₂、O₂和混合气体等等（根据材料性质所定）

清洗及蚀刻

产品规格

尺寸：620mm×450mm×600mm

标准配件

1、直连式双旋真空泵（240L/min）

2、KF25波纹管

3、KF25手动挡板阀

可选配件

1、300W、600W射频电源（进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验）

2、2″-6″石英舟（盛放基片）

3、2-4通道浮子混气系统

4、2-4通道质子混气系统