GSL-1100X-PJF-A等离子表面处理仪

GSL-1100X-PJF-A等离子表面处理仪是一款紧凑的大气离子表面处理喷射系统，主要由射频发生器、离子束头组成。喷射的离子束流能在较低的温度和没有真空条件的环境下，迅速活化和清理材料（如单晶片、光学元件、塑料等）表面杂质。本机是为获得高质量的外延薄膜或光学涂层，预先进行表面处理的**选择。

主要特点

1、高速处理物件表面，操作简单、安全。

2、无需真空和腔室环境。

3、小巧实用、成本低。

4、重量轻、结构紧凑。

5、已通过CE认证。

技术参数

1、电源：110/220V 50/60Hz <100W

2、输出频率：20-23KHz

3、离子束头：圆头10-12mm，矩形头15-18mm

4、输入气压：最小0.275MPa

5、工作气氛：空气、氮气、氩气、混合气体，但不要使用易燃易爆气体

6、等离子工作压力：0.048MPa-0.068MPa

7、工作环境：温度<42℃，湿度≤40%RH

8、工作台：自动控制三维工作台，X、Y轴电动调节，Z轴手动调节

9、真空吸盘：Φ100mm

10、X轴行程：200mm

11、Y轴行程：100mm

12、Z轴行程：50mm

产品规格

尺寸：600mm×600mm×1250mm

重量：55kg