GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪

GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪配备了热蒸发附件，具有溅射和蒸发两种功能。不但可以用等离子溅射的方式镀金属膜，也可以用蒸发的方式得到碳或其他金属单质的薄膜。本机能够满足扫描电子显微镜样品的制备和非导体材料实验电极的制作，也可以用于材料研究中各种新材料性能的实验。

主要特点

配备了热蒸发附件，可以蒸发碳丝或者其他材料，如铝、不锈钢等材料，同时具有溅射和蒸发的功能。因此扩展了应用范

围，特别适用于扫描电镜样品的制备。

技术参数

1、靶：Φ50mm

2、样品台：Φ50mm

3、真空室：Φ160mm×110mm

4、真空度：4×10^-1mbar-2×10^-2mbar

5、最大电流：50mA

6、可设定最长时间：9999s

7、最高电压：1600V DC可调

8、真空泵：4L两级机械旋转泵，极限真空2×10^-2mbar

标准配件

1、金靶材

2、碳绳

3、钨丝篮

4、热蒸发附件

5、进气针阀

6、保险丝

可选配件

金、铟、银、白金等各种靶材