高分辨率表层缺陷超声波扫描显微镜系统

KSI－Nano型高分辨率表层缺陷超声波扫描显微镜系统

声学显微成像系统和光学显微成像系统的wan美结合

KSI Nano型超声波扫描显微镜是拥有高分辨率的声学显微成像系统，它能对实测器件的表层缺陷作超高分辨缺陷检测。

在使用100MHz——2000MHz的超高频超声波时，这种分辨率得以实现。

KSI nano 还包含一个倒置光学显微镜，在进行超声波检测前可利用它调整样品的位置。

KSI nano超声波扫描显微镜系统还应用于世界各地的生命和物质科学研究。

- 换能器频率范围：100MHz——2000MHz频率实现高分辨率
- 探测深度<100nm
- 特殊平均模式使信噪比更好
- 同步光学成像和超声波成像使样品在结构上、生物化学性能上和机械性能上具有关联性。
- 光声效应增强了对比性
- 最大放大倍数：1000倍
- 入射光显微镜和倒置光学显微镜可调节