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PGS/PGM 1000真空紫外光谱仪

天津东方科捷科技有限公司

企业性质

入驻年限第10年

营业执照
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产品简介

PGS/PGM1000光谱仪凭借优异的消像差设计,可实现一机两用,配合单通道探测器作为单色仪,配合CCD使用作为摄谱仪。光路由一片消像差平面光栅和一片超环面镜组成,为极紫外光谱分析优化设计。掠入射光路设计将可探测波长拓展到软X射线,与此同时,摄谱仪模式下焦平面垂直于出射光轴,使CCD上接受的光通量最大化。

技术特点
HJYZL的消像差平面光栅结合超环面镜,同时兼顾高分辨率和低像差。
在轴设计,光路易准直。
出射光直射CCD表面,光通量大。
只需更换出射狭缝和法兰,即可实现单色仪和摄谱仪之间的切换,一机两用。
支持超高真空10-9mbar,可接入同步辐射装置。
光谱范围覆盖到4nm4-16nm具有超高分辨率

典型应用
紫外可调滤波/光源
激光高次谐波
等离子体物理研究
X射线光电子能谱
EUV光源表征

技术指标

三块标准光栅可选

54403130

(仅提供母光栅)

3600gr/mm光栅,

光谱范围:4-16nm(77-310eV)

出射端线色散:0.2-0.5nm/mm

平均分辨率:0.05nm

54402130

1800gr/mm光栅,

摄谱仪模式下

光谱范围:8-32nm(39-155eV)7-32.5nm

出射端线色散:0.04-0.1nm/mm

平均分辨率:0.1nm

54401130

550gr/mm光栅,

摄谱仪模式下

光谱范围:30-125nm(10-41eV)

26-126nm

出射端线色散:0.08-0.3nm/mm

平均分辨率:0.3nm

光学设计

HJYZL平面光栅加超环面镜光路设计

焦长

1000mm

孔径

f/48

分辨率

低至0.02nm

波长驱动

步进电机,USB2.0接口

高真空

10-6mbar

真空泵法兰

DN63LF

狭缝

测微狭缝

阵列探测器法兰

DN100CF/ICF152

可选项:

狭缝

固定或内置可切换狭缝

超高真空

10-9mbar配备DN100CF

真空泵法兰和DN40CF真空计法兰

附件
前镜腔,配备两块超环面镜,实现光源和单色仪之间的光学匹配
后镜腔,配备两块超环面镜,实现单色仪和样品室之间的光学匹配
样品室,可搭载4块直径不大于25mm的样品
偏振插片
制冷机,zuidi至4K
真空泵