等离子体分析飞行时间质谱仪 PP-TOFMS

原理：
等离子体等离子体分析飞行时间质谱仪是一个全新的仪器，它结合了GD等离子体的溅射速度和飞行时间质谱的灵敏度，实现了高分辨率和高灵敏度条件下固体材料的快速化学深度剖析。

ZD应用领域：
掺杂分析（半导体、光电子、太阳能光伏、传感器、固态光源）
表面和整体污染鉴定（PVD镀层、摩擦层、）
腐蚀科学和技术（示踪物、标记监测、同位素分析）
界面监测


参数：
采集速率：每30μs一张全质谱
质量分辨率：选择高分辨率模式时，在m/z208可达5000
动态范围：10⁷
质量准确度40ppm
灵敏度:10³cps/ppm
深度分辨率：nm
正负离子模式
4个离子的灵活消隐功能
简单易用的水平样品装载

产品特点：
样品分析快速无预处理：无需超高压腔
适用于各种材料及镀层分析
全质量覆盖：可提供从H到U元素的完整质谱和分子信息，包括同位素监测
独有3D数据 ，脉冲射频模式(ZL)
高深度分辨率：测试薄层可至1nm到厚层：厚层可达100μm
无需校准的半定量分析：溅射和电离过程分离，使得基体效应最小化

原理图：

应用实例：

富含O18氧化钽的同位素分析

Si PV的杂质识别

Si中B的定量掺杂

InGaN中Mg的定量分析