电镜原位纳米压痕测试系统INSEM

INSEM是一套可以接到扫描电镜（SEM）的深度敏感压痕仪，该仪器可以执行定量纳米力学测试并同步获取SEM成像。这两项技术的耦合让研究者可以极其精确定位和整个测试过程的变形进行成像。

在纳米力学测量系统的各项基础上，专为在电子显微镜内实现纳米力学测量系统卓越性能而设计，是表征断裂卒发和裂纹扩展，剥离和堆积的理想选择。并且现场可以进行实时观察，不用等到测试结束。这两项高精度技术的结合提供了独特的材料行为机制研究观察方法。

主要特点：

• 模块设计灵活性高

  InSEM为模块化设计，具有高适应性，能够适用于各种应用。InSEM能安装于各种SEM腔体上的接口或直接安装在SEM台上。

• 特有的连续硬度动态测量功能

  连续硬度测量功能可以直接采集压入过程中的每个载荷和位移数据对应压入深度的接触刚度、进而计算出硬度与弹性模量等力学性能作为压入深度的连续函数。

• 数据采集快捷方便

  高速数据采集系统，通过鼠标就可以实时切换测量参量（载荷、位移、硬度、弹性模量和接触硬度等）；可将所有测试数据输出为Excel格式，同时显示二维或三维图像。

应用领域

金属及非金属材料和薄膜的真空环境下静态、动态原位纳米压痕力学性能测试和物性参量测试实验。