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USHIO自动光刻设备
品牌:
日本Ushio
型号:
UPE-1255ATL
产地:
日本
供应商报价:
面议
产品分类:
电子束刻蚀系统
新耕(上海)贸易有限公司
企业性质
入驻年限
第10年
营业执照
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详细介绍
UPE-1255ATL是被广泛应用于LED芯片研发和大批量生产的一款自动光刻设备
特点
:
*具有较高的设备稳定性。
*具有较高的生产对应能力和处理速度 每小时可达200WPH以上
*搭载USHIO自主研发的光学系统,在提高照度的同时也提高了光照均一性。
*具有较好的对位识别系统,提高并完善了对位成功率,进一步提高了生产效率。
*产品生产切换简易。
用途
:
*LED芯片生产工艺的大批量生产。
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