SVT工艺监控仪 AccuFlux

AccuFlux 工艺监控仪是非侵入式在线束流监控仪并配有原子吸收谱仪。利用各元素特定的照射灯，AccuFlux 还可测量固态源及气态源的气相束流密度。此监控仪可同时监控4种材料。独特的光学和电子设计，使速率精度<0.002nm/s。AccuFlux 具有自参考和自对准功能，即使仪器出现移位也不会影响监测。

AccuFlux 工艺监控仪可用在MBE及MOCVD上测量绝大多数材料。远程控制装置做为可选部件，是生产型应用的理想选择。此装置可提供挡板及源控制的信息实时反馈。不论生长设备上源（cell）的结构设计是线型还是共焦型，AccuFlux都可以使用。每种材料具有独特的光源，因此该监控仪可在过压环境下使用，例如GaAs，CIGS及氧化物的生长。

●创新的光学设计，能够检测速率zuidi为0.002nm/s

●针对各元素的高强度灯源

●可对固态及气态源进行束流监控

●远程控制可选，能够实现闭环控制

●可以同时监控4种材料