PSM等离子体质量和能量分析质谱仪

产品简介

PSM等离子体质量和能量分析质谱仪

PSM是一台差式泵质谱仪（In-Line Plasma Analysers for Neutrals, Radicals and Ion Analysis），分析等离子过程中的二次离子和中性粒子。

技术参数

灵敏度高 / 极稳定的3级过滤四极杆

质量数范围：     0 ~ 2500amu

脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围

能量分析选件，标准 ±100eV（1000eV可选 ）

Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可选， 高压操作可选
​通过RS232、RS485或Ethernet LAN ，软件MASsoft 控制