Ar/O2离子枪

Hiden IG20 Ar/O2离子枪（Ion Gun），先进的离子枪，配合SIMS进行材料表面和深度的分析。

功能特点

静态、动态SIMS
俄歇电子谱
离子束溅射
表面科学研究
光栅/ 深度分析

具有100μm光斑直径的、0.5～5 keV能量的强离子束
高电流密度4.5 mA/cm2
电子轰击离子源具有氩和氧离子能力
扫描线散射和离子束光栅的光学调整功能，用于深度分析
离子枪的3°偏移量，用于中性粒子的**排斥
在光栅应用中，束消隐装置可以快速进行束的转换
差式泵源减少室内气体
便于更换的双灯丝
扫描速度可低至64μs
与SIM 和EQS 探针一起，可以直接进行光栅速率/区域控制

技术参数

能量范围： 500eV ~ 5KeV

最大电流： 800nA

最小光斑尺寸： 50μm

离子源寿命： ＞1000小时

法兰规格： 斜楔法兰DN-35-CF

气源压力： 0.1~0.5bar至一个大气压

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