详细介绍
SCL-Sensor.Tech公司成立于2004年，公司的主要业务是制造和销售硅基压电阻式自感应AFM探针。这种全压电式悬臂，在AFM、纳米级、力测量等传感应用领域都有全新的应用。公司的多学科团队由物理、商业和金融、半导体和微电子学、电子工程和生物科学等领域的专家组成。除了自己的团队之外，SCL-Sensor.Tech还与著 名高校：University of Tampere (UTA)，École Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL) 许多领xian的研究团队合作，同时与著 名仪器生产商GETec公司合作，密切接触前沿研究和开发。
自感应悬臂探针安装了一个全压电电阻式的惠特斯通电桥，两个可变电阻在悬臂上，两个在晶片上可以直接测量悬臂的信号，从而避免了光学技术对空间要求。这种悬臂式芯片被连接在一个小的PCB上，带有一个小的连接器，用于快速和高度可重复的悬臂交换。传感器信号是通过一个小型的前置放大器PCB来读出和放大的。这使得与各种仪器，如SEM，TEM和许多其他测量系统的简单无缝集成。这种自感的悬臂可以满足各种共振频率和弹性系数的要求。
SCL提供了PRS(Piezo-Resistive Sensing)不可加热的悬臂AFM探针和PRSA(Piezo-Resistive Sensing & Active)可加热的悬臂AFM探针。我们建议用塑料镊子更换 裸悬臂AFM探针，用钢镊子来更换固定在PCB板上的悬臂AFM探针。
| 常规自感应悬臂梁探针（针尖材质Si）Self-Sensing Cantilevers with Silicon Tip |
| 左图展示的是标准的SCL自感应悬臂探针的，半径小于15纳米。正常情况下，悬臂探针会预先安装特制的PCB板（CL-PCB）上，在它的下侧有一个10pin的连接器。如果有特殊要求，我们也可以提供没有PCB板的悬臂探针。探针有两种版本，可加热的探针PRSA (Piezo-Resistive Sensing & Active) 和不可加热的探针PRS (Piezo-Resistive Sensing) |
| PRSA-L300-F50/60/80-Si-PCB/CHP 我们可以提供两中特定频率范围内使用的探针（中频为50 kHz或80 kHz），频率取决于悬臂的厚度。当选择没有PCB板的裸探针时（PRSA-L300-CHP）时，使用的频率范围是未知的，因为这些参数不能在没有电触点的情况下测量。 详情请参见： |
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共同特点Common |
| 针尖锐度Silicon tip radius (rtip) | < 15 nm | 长宽Cantilever length, width (l/w) | l = 305 µm, w = 110 µm | 灵敏度Sensitivity (s) | 1-2 µV/nm | 应用Applications | AFM, 纳米探测, 结合 SEM/TEM的力学探测. | PRSA-L300-F50-Si-PCB |
| 共振频率Resonant frequency (fR) | fR = 30~65 kHz | 刚度Stiffness (k) | k = 1~15 N/m | PRSA-L300-F80-Si-PCB |
| 共振频率Resonant frequency (fR) | 65...95 kHz | 刚度Stiffness (k) | 15...56 N/m |
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| PRS-L70-F900-Si-PCB/CHP |
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PRS-L70-F900-Si-PCB/CHP |
| 针尖锐度Silicon tip radius (rtip) | < 15 nm | 长宽Cantilever length, width (l/w) | l = 70...85 µm, w = 30 µm | 灵敏度Sensitivity (s) | 3 µV/nm | 应用Applications | AFM, 纳米探测, 结合 SEM/TEM的力学探测. | 共振频率Resonant frequency (fR) | 500...1300 kHz | 刚度Stiffness (k) | 35...400 N/m |
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| 自感应悬臂梁（不含针）Self-Sensing Cantilever without Tip (Tipless) |
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这是一种特殊类型的SCL的自感应悬臂，没有探针针尖，可将自己设计制造的针尖粘在其上或者直接粘上样品，满足个性化的需求。这种无探针的悬臂尤其适用于扭矩磁力仪、力感测力、气体特性测量，以及更多的应用。正常情况下，悬臂探针会预先安装特制的PCB板（CL-PCB）上，在它的下侧有一个10pin的连接器。如果有特殊要求，我们也可以提供没有PCB板的悬臂探针。探针有两种版本，可加热的探针PRSA (Piezo-Resistive Sensing & Active) 和不可加热的探针PRS (Piezo-Resistive Sensing) |
| 型号列表： |
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| PRSA-L300-F50/60/80-TL-PCB/CHP 我们可以提供两中特定频率范围内使用的探针（中频为50 kHz或80 kHz），频率取决于悬臂的厚度。当选择没有PCB板的裸探针时（PRSA-L300-CHP）时，使用的频率范围是未知的，因为这些参数无法在没有电触点的情况下测量。 |
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共同特点Common |
| 长宽Cantilever length, width (l/w) | l = 300 µm, w = 110 µm | 灵敏度Sensitivity (s) | 1...2 µV/nm | 应用Applications | 扭矩磁力仪，力感应，气体特性，特殊针尖的安装 | PRSA-L300-F50-TL-PCB |
| 共振频率Resonant frequency (fR) | fR = 30...65 kHz | 刚度Stiffness (k) | k = 1...15 N/m | PRSA-L300-F80-TL-PCB |
| 共振频率Resonant frequency (fR) | 65...95 kHz | 刚度Stiffness (k) | 15...56 N/m |
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| PRS-L100-F400-TL-PCB/CHP |
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PRS-L100-F400-TL-PCB/CHP |
| 长宽Cantilever length, width (l/w) | l = 100 µm, w = 48 µm | 灵敏度Sensitivity (s) | 1...3 µV/nm | 应用Applications | 扭矩磁力仪，力感应，气体特性，特殊针尖的安装 | 共振频率Resonant frequency (fR) | fR = 250...550 kHz | 刚度Stiffness (k) | k = 14...170 N/m |
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| PRS-L450-F30-TL-PCB/CHP |
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PRS-L450-F30-TL-PCB/CHP |
| 长宽Cantilever length, width (l/w) | l = 450 µm, w = 100 µm | 灵敏度Sensitivity (s) | 1...2 µV/nm | 应用Applications | 扭矩磁力仪，力感应，气体特性，特殊针尖的安装 | 共振频率Resonant frequency (fR) | 14...48 kHz | 刚度Stiffness (k) | 0.5...24 N/m |
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自感应基础套件（DIY必备） Self-Sensing Starter-Kit |
自感悬臂探针的每个应用中没有激光扰度探测，无法直接用于普通AFM设备里，需要我们提供的自感应基础套件。该基础套件为您提供了所有基本但必要的配置，可以立即开始使用自感应悬臂（探针）。自感应基础套件包含以下内容： ► 低噪声悬臂信号前置放大器（下图。2)
► 连接前置放大器到悬臂和后加工设备（锁定放大器，AFM控制器等）的电缆。(1 + 3)
► 10个自我感觉的悬臂（4) |
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