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hexaCUBE纳米精度六轴位移台

QUANTUM量子科学仪器贸易（北京）有限公司

企业性质生产商

入驻年限第6年

营业执照已审核
同类产品表面成像(42件)

产品特点

+六维度自由移动

+ 厘米级行程，纳米级精度的位置控制

+ 闭环位移器，极高机械稳定性

+ 50 nm 线性移动精度，1 μrad 倾角精度

+ 特殊材质，兼容各种光学环境与超高真空环境

+ 软件全自动操控

技术参数

产品型号
hexaCUBE190
适用环境
1atm/HV/UHV
位移器尺寸

190×180×105 mm3

大负载
700 g
中心孔距
26 mm
行程
线性x方向 ±15 mm  
线性y方向 ±15 mm  
线性z方向 ±20 mm
倾角x方向  +33/-19°
倾角y方向 ±21°  
倾角z方向 ±19°
精度
线性x,y,z方向 50nm
倾角x,y,z方向 1μrad
材质铝，不锈钢，塑料
高稳定性
 行程1mm范围，高度可重复性
 
 行程1mm范围，误差小于50nm
 
 小范围内，误差小于10nm
标准配件
 
 
 
ECC100位移控制器SpaceNavigator操纵杆
同时控制六个方向位移；
wan美结合attocube专门开发的hexaCUBE控制软件；
兼容Labview；
简单易用
应用软件
 
       
      =>界面直观
  =>六维度点对点控制
 
  =>布局合理
 
  =>精确控制               


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