企业性质生产商
入驻年限第6年
技术指标及功能
广泛应用于生产线，是6英寸，8英寸等主力I线生产机台，适用于I线光刻胶的曝光，操作简单，曝光精度准，解析力zui高可达0.35UM （350NM）
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