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FPS 6100多功能掩膜版光刻机

品牌：瑞典Mycronic
型号：FPS 6100
产地：瑞典
供应商报价：面议
产品分类：其它制样消解设备

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业性质生产商

入驻年限第6年

营业执照已审核

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使多功能光掩模制造

具有无与伦比的灵活性

FPS6100传递的画面质量和生产效率有所提高，符合当下更为先进的多功能市场细分的要求。

许多应用和生产环境可以设置FPS6100：电子包装、触摸屏、滤色镜、精细的金属膜片、3D模具等等。这意味着你可以充分利用现行产品体系，同时瞄准新的商机。

与之前的FPS5500相比，FPS6100能够提供更高的曝光速度以及更优质的画面质量。如果您的FPS系统是老一代的，您可以将它升级至FPS6100系列，不仅节省成本同时提高经营的能力和质量。

主要优势：

· 生产效率提高，曝光速度更快，减少辅助操作时间

· 画面质量更优质，更小的成像单位

· 6种曝光水平和干板曝光的平台可扩展性

· FPS5100/5300/5500可升级

技术指标

FPS6100	Lvl 80	Lvl 60	Lvl 40
曝光速度[mm²/min]	525	1250	2600
最小L/S 溶解（pitch/2）	0.75	1.2	2.0
CD均匀性3σ [nm]	30	40	60
套合3σ[nm]	70	85	100
最大掩膜尺寸 [mm]	813x813*

FPS6100	Lvl 25	Lvl 20	Lvl 15
曝光速度[mm²/min]	6000	8000	12000
最小L/S 溶解（pitch/2）	3.5	5.0	7.0
CD均匀性3σ [nm]	80	100	200
套合3σ[nm]	120	140	160
最大掩膜尺寸 [mm]	813x813*

FPS6100E	Lvl 25	Lvl 20	Lvl 15
曝光速度[mm²/min]	5000	8000	12000
最小L/S 溶解（pitch/2）	6.0	8.0	12.0
CD均匀性3σ [nm]	600	700	900
套合3σ[nm]	120	140	160
最大掩膜尺寸 [mm]	813x813*

* 掩膜可伸展尺寸到达可选择的1100×1100 和 900×1200

技术指标

FPS6100	Lvl 80	Lvl 60	Lvl 40
曝光速度[mm²/min]	525	1250	2600
最小L/S 溶解（pitch/2）	0.75	1.2	2.0
CD均匀性3σ [nm]	30	40	60
套合3σ[nm]	70	85	100
最大掩膜尺寸 [mm]	813x813*

FPS6100	Lvl 25	Lvl 20	Lvl 15
曝光速度[mm²/min]	6000	8000	12000
最小L/S 溶解（pitch/2）	3.5	5.0	7.0
CD均匀性3σ [nm]	80	100	200
套合3σ[nm]	120	140	160
最大掩膜尺寸 [mm]	813x813*

FPS6100E	Lvl 25	Lvl 20	Lvl 15
曝光速度[mm²/min]	5000	8000	12000
最小L/S 溶解（pitch/2）	6.0	8.0	12.0
CD均匀性3σ [nm]	600	700	900
套合3σ[nm]	120	140	160
最大掩膜尺寸 [mm]	813x813*

* 掩膜可伸展尺寸到达可选择的1100×1100 和 900×1200

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