太阳能电池应用3D激光共聚焦显微镜

NanoFocus μsurf solar太阳能电池3D激光共聚焦显微镜，可以对太阳能电池片进行自动化测量，广泛适用于单晶、多晶和薄膜太阳能电池片，一分钟内可以自动测量12个区域，是质量检验和生产控制中的最有效的光学三维表面测量和分析工具。可以进行太阳能电池片栅线的3D形貌表征、高宽比测量，制绒后3D形貌表征（单晶金字塔大小、数量、角度、比表面积，多晶腐蚀坑形貌、密度），粗糙度分析，以及减反射层腐蚀表面的测量，薄膜小孔的检测和自动分析。

作为太阳能行业必要设备，μsurf solar太阳能电池3D激光共聚焦显微镜从硬件到软件均是针对太阳能行业定制开发出来的，其测量样品的平台带有真空吸盘，可以承受210mmX210mm的样品，能确保太阳能电池片移动时不破坏。适用μsurf solar有利于控制生产工艺,提高效率,是质量的可靠保证。

μsurf solar可与集成技术（DIC微分干涉相衬显微镜）。DIC是可能的，例如，金字塔或晶片上的污垢和缺陷快速检测的角度依赖性的陈述。相对于硬件版本，软件的开发提供了许多优点，DIC纳米焦点。它是更容易使用，并可以同时显示不同的角度方向，独立的高度范围内结合纳米焦点的聚焦技术，DIC显微镜显示的主要技术优点：测量图像聚焦无限深度。此外，光学可用于具有更高的光圈，并可以模拟任意光源。使用激光共聚焦技术，**的测量结果是独立的样品的颜色和反射率。

μsurf solar支持无损分析没有制备的样品。这是为什么μsurfsolar3D激光共聚焦显微镜不仅适合在实验室使用更合适的生产环境中。它不在意样品表面是否具有蚀刻结构或抗反射涂层。对于样品以及尴尬的特性如陡边坡，复杂的几何构型和结构毫微米范围，仅仅几秒钟内，μsurf solar就能提供精确和可重复的三维测量数据。

具有智能算法的工业专用软件

特定的算法和模块的分析，可变曝光时间，以及不同的太阳表面的测量模式，使太阳能一个多功能的解决方案。纳米焦点已开发了专门的软件是最适合于太阳能电池的反射特性。随着工具的量化金字塔或检测的缺陷，用户的利润从一个显着更容易解释具有挑战性的表面。

与新算法相结合的区域测量提供了稳定和可重复的三维数据。通过高度和反射数据的组合，可以精确地确定边缘，使手指可以用纳米精度测量高度和宽度。为了在测量过程中的更多的效率，测量系统可以配备一个简单的和工业部门的具体自动化。

太阳能行业解决方案
μsurf solar太阳能电池3D激光共聚焦显微镜从硬件到软件是专为满足太阳能行业实验室和生产过程检测需求的一个解决方案，测试范围为米级的超长行程使得检测整个薄膜太阳能模块得以实现，结合真空吸盘夹具和专门的算法，您可以更安全更有效地测量与分析反射表面以达到业界**的测量结果。

技术参数
LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
测量时间：2~10秒
测量原理：非接触、共聚焦
X/Y方向：平台移动范围200mmX200mm，马达驱动，最大移动速度40 mm/s，X/Y方向分辨率：0.3μm
Z方向测量范围：500μm，Z方向分辨率：1nm
物镜：10X、20X、50X、100X(可选)
离轴摄像头(10X)，最大视野8 x 6 mm2(选配)
计算机：高性能计算机控制系统，功能强大且附带全面解决方案的自动化软件
工作电源：100-240V, 50-60Hz，input: 550 VA
材质：钢铁、橡胶、大理石
洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)