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企业性质生产商
入驻年限第6年
热电过程恒温器适用于 -20 至 90 °C 的半导体行业
热电使用地点 (POU) 温度控制系统完成等离子刻蚀应用中可复制的温度调节。此系统确保静电硅片夹 (ESC) 的动态温度调节，并且可与所有类型的刻蚀工艺结合使用。成熟和已知的珀耳帖元件传热原理是热电温度调节系统 LAUDA-Noah POU 的基础。使用此元件可快速、准确调节温度，这正是不断缩小部件高要求生产过程需要的。
技术参数
| POU 3300 | POU 3500 | |
| zui小工作温度 | -20 °C | -20 °C |
| zui大工作温度 | 90 °C | 90 °C |
| 20 °C 时的制冷功率 | 1.2 kW | 2.5 kW |
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