微型钢线性位移台

MFA 是 Newport 钢位移台系列的成员之一，采用极为紧凑的封装，专为出色的热稳定性、刚度和载重能力而生。相对于位移台的尺寸，微型 MFA 是一种低成本选择，可在空间受限的应用中实现精密运动。

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• 全钢结构可以实现高刚度和热稳定性

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• 紧凑型设计用于空间有限的应用

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• 刚性双列线性滚珠轴承

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• 真空兼容版本至 10-6Â hPa。

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• 即插即用 - ESP 兼容

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• 高分辨率及编码器反馈可实现 100 nm 灵敏度的超平滑运动

• 技术参数

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• 偏摆，典型值

  
  

  ±30 µrad

  
  

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• 偏摆，保证值

  
  

  ±50 µrad

  
  

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• 偏摆顺应性

  
  

  80 µrad/Nm

  
  

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• 滚转顺应性

  
  

  60 µrad/Nm  

  
  

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• 原点重复精度

  
  

  ±2.5 µm

  
  

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• 电缆长度

  
  

  3 m  

  
  

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• 端口类型

  
  

  DB25 Male

  
  

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• 真空兼容性

  
  

  No

  
  

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• 螺纹类型

  
  

  M2 and M3

  
  

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• 重量

  
  

  0.63 kg

  
  

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• MTBF

  
  

  10,000 h (25% load, 30% Duty cycle)

  
  

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• RoHS

  
  

  Compliant

  
  

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• 最大功率密度

  
  

  10 W

  
  

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• 兼容的探头

  
  

  SMC100CC

  
  

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• 行程范围

  
  

  25 mm

  
  

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• 最大速度

  
  

  2.5 mm/s

  
  

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• 最小位移增量

  
  

  0.10 µm

  
  

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• 中心负载

  
  

  50 N

  
  

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• 轴向负载 (+Cx)

  
  

  10 N

  
  

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• 逆轴向负载 (-Cx)

  
  

  -10 N

  
  

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• 精度，典型值

  
  

  ±0.7 µm

  
  

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• 精度，保证值

  
  

  ±3.0 µm

  
  

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• 单向重复精度，典型值

  
  

  ±0.08 µm

  
  

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• 单向重复精度，保证值

  
  

  ±0.15 µm

  
  

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• 双向重复精度，典型值

  
  

  ±0.15 µm

  
  

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• 双向重复精度，保证值

  
  

  ±0.75 µm

  
  

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• 俯仰，典型值

  
  

  ±25 µrad

  
  

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• 俯仰，保证值

  
  

  ±100 µrad

  
  

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• 俯仰顺应性

  
  

  80 µrad/Nm  

  
  

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