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Newport 精密紧凑型电动线性位移台

青岛森泉光电有限公司

企业性质授权代理商

入驻年限第5年

营业执照已审核
同类产品位移台(102件)


  • 易于进行 XY 和 XYZ 配置


  • 灵敏度高，10 nm 最小增量运动


  • 厚度薄、结构紧凑且重量轻


  • 便捷的手动调节旋钮


  • 内置线性编码器，可实现高度可重复且精确的运动


  • 即插即用 - ESP 兼容

技术参数


  • 电动轴


    X



  • 行程范围


    25 mm



  • 最大速度


    25 mm/s



  • 最小位移增量


    0.10 µm



  • 中心负载


    60 N



  • 轴向负载 (+Cx)


    40 N



  • 逆轴向负载 (-Cx)


    -40 N



  • 精度，典型值


    ±0.4 µm



  • 精度，保证值


    ±1.0 µm



  • 双向重复精度，典型值


    ±0.06 µm



  • 双向重复精度，保证值


    ±0.10 µm



  • 俯仰，典型值


    ±22 µrad



  • 俯仰，保证值


    ±50 µrad



  • 俯仰顺应性


    20 µrad/Nm  




  • 偏摆，典型值


    ±17 µrad



  • 偏摆，保证值


    ±50 µrad



  • 偏摆顺应性


    30 µrad/Nm  



  • 滚转顺应性


    20 µrad/Nm  



  • 原点重复精度


    ±0.1 µm



  • 电缆长度


    1.5 m  



  • 端口类型


    DB25 Male



  • 螺纹类型


    M4 and M6



  • 重量


    1.5 kg  



  • MTBF


    20,000 h (25% load, 30% duty cycle)



  • RoHS


    Compliant



  • 兼容的探头


    SMC100CC




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