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非接触式硅片厚度测量仪SIT-200

上海屹持光电技术有限公司

企业性质生产商

入驻年限第3年

营业执照已审核
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硅片厚度测量仪SIT-200

硅片厚度测量仪(SIT-200)由精确可调激光光源,聚焦传感器,光学接收器组成。波长扫描光聚焦照射到目标上,由目标表面和背面反射光干涉形成干涉图案,经过聚焦传感器后由光学探测器进行检测。

 

产品特点:

l  全光学,非接触硅片厚度测试

l  高动态范围测量粗糙表面

l  湿法刻蚀过程中实时测量

高灵敏度         高精度           快速测量        远程控制


                          结构示意图

SIT-200                                 

产品参数:

测量目标

硅片

测量厚度

10-500μm

光源

1515-1585nm扫描

功率

0.6mwClass1

指示光源

红光,Class1M

测量时间

20ms

重复性

0.1μm

输出监控

干扰信号(电学)

PC接口

网口

供电

100-240V50/60Hz

尺寸

364 x 147 x 391mm

重量

9kg


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