一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE

新型的全自动薄膜测量分析工具，工业化设计，操作简单，可在几秒钟内完成全自动测量和分析，并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。

产品特点：
完全自动化设计，一键式操作，直接报告输出
液晶调制技术，测量光路中无运动部件
CCD探测系统，快速全谱输出
多个微光斑尺寸选择，ZL可视技术
封闭式样品仓

技术参数：
光谱范围：450-1000 nm
多种微光斑自动选择
ZL光斑可视技术，可观测任何样品表面
CCD探测器
自动样品台尺寸：200mmX200mm
XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm
70度角入射