大面积快速扫描轮廓仪

n产品介绍

NanoFocus μsprint topographer是一个独立的桌面3D测量系统。机台上的X.Y轴和3D传感器可以提供必不可少的高精度数据采集的稳定性。μsprint设备包含有控制柜、电子设备和PC，还可以根据客户的需求进行定制，如自动放置sample的自动机械手。μsprint软件提供多种扫描和数据分析的功能。通过共聚焦显微镜相结合的μsprintZL原理，真正的3D信息与史无前列的测量速度和记录分析的高准确性。μsprint多通道3D传感器,采集数据的预处理，同时每个通道实时监测到的峰高度并保存测量的峰值强度，因为它代表了表面反射率。从所有途径获取的数据由多通道μsprint的传感器每秒运作8000次，它的运作类似于线检查相机。正因为传感器的高采样率，可以以高速移动的物体或传感器，从而可以在很短的时间内进行大面积扫描。所有采集的高度和强度数据被合并成一个3D地形图像和强度图像。

n应用

1.电子设备：检测对表面磨损，表面粗糙度，表面微结构有要求的零部件

2.半导体：检测微型电子系统，封装及辅助产品结构设计

3.医疗：模具表面检测

4.金属/力学：测试金属摩擦大面积表面

5.钢铁：检测轧辊钢棍在处理前后的表面形貌

6.玻璃/光学：大面积的透镜表面形貌

7.纸张：纸张、钱币表面三维形貌测量

n技术参数

1，原理：多通道、非接触、共聚焦

2，信道数：128

3，采样率（每通道）：8000 s-1

4，外形尺寸(LxHxW)：260 x 194 x99 mm

5，工作距离：0.5-30 mm

6，高度范围：100μm-2.5 mm

7，扫描宽度：435 μm -2.5 mm

8，扫描深度：8 -200 mm/s

9，Z方向的分辨率：0.05-13 μm

10，x,y方向分辨率：3.4-17 μm

11，光斑直径：1 μm

12，电源：110/230 V AC, 15 W

13，激光二极管的波长：830 nm