德国 Diener 低压等离子设备 等离子清洗机 FEMTO

等离子清洗机FEMTO

等离子工艺除清洗与活化外，还具有蚀刻与涂层的功能。可以应用于多种领域。

l  硅蚀刻

l  PTFE蚀刻

l  去除光刻胶

l  提高耐温塑料对于涂料和粘结剂的附着性

l  疏水层的沉积

l  亲水层的沉积

l  保护或绝缘层的沉积

l  防扩散层

主要技术参数：

1.    全自动控制

2.    *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量，时间等参数

3.    单路工作气体，气体流量通MFC流量计控制

4.    反应舱为不锈钢，Ø100 mm*L278mm，容积约为2.2L

5.    射频频率13.56MHz,功率0~100W

6.    电极材质为铝/不锈钢

7.    运行模式为手动

8.    真空泵的排气能力为4m3/Hour，配有强制进气阀

9.    *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值

10. 外尺寸：W310*D420*H330mm

11. 电源电压：单相AC230V 16A