优赫普超高纯气体纯化器UHP150

UHP150系列超高纯气体纯化器采用吸附深度和杂质吸附容量高的活性金属为化学吸附剂，通过化学反应方法选择性吸附氢气、氮气和惰性气体中的杂质气体。纯化床采用高纯不锈钢电化学抛光管、低泄漏率气动隔膜阀门，采用全自动轨道焊机焊接而成，可实现纯化后氢气、氮气和惰性气体等出口气体纯度即达到7N - 8N，无人值守全自动运行，达到国际领xian水平， 已应用于多家企事业单位、高校及科研院所。纯化性能指标见下表，用户可根据用气场合和用气量需求，对应选择型号，也可进行功能定制。

表 纯化性能指标

UHP150系列超高纯气体纯化器主要用于提供工业生产、测试中的超高纯度工艺气体、保护气等，也是气体配置行业必不可少的关键设备之一。可用于半导体制造业中干刻蚀、离子注入等工艺中等离子体气体，直读光谱仪载气；IC、LED等制造业中外延工艺和扩散工艺气体等。