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AEROTECH精密气体减压器Pa-HH

中科艾尔(北京)科技有限公司

企业性质生产商

入驻年限第6年

营业执照已审核
同类产品Pa系列(9件)
AEROTECH精密气体减压器Pa-HH 核心参数
结构: 单级式
最大输入压力: 15MPa
最大输出压力: 0~12MPa
环境温度: -10~+70℃

Pα-HH精密气体减压器。单级膜片式设计;高压输入,高压中等流量输出,输出压力稳定;适用于半导体高纯气体、低浓度毒性、低浓度腐蚀性、易燃易爆气体等。标准流量250L/min。


工作条件:

进口压力15MPa
出口压力0~12MPa
CV值0.02
爆破压力40MPa
原压变动0.007MPa

(入口压力变化0.1MPa时,出口压力的变化量)

温度-10~+70℃
外漏率≤1×10-9Pa.M3/Sec.He
安装方式后面板安装


产品特点:

柔性膜片结构,调节顺畅,流量损失小

单级式减压,死体积小,便于吹扫

进口出口可以加装其他附件

主要部件电解抛光处理,增加腐蚀性

内置精密过滤器,保证气体洁净

超纯水清洗


主要部件材料:

零部件名称Part材料(Materials)
后盖BonnetSUS316
阀体BodySUS316L
阀针PoppetSUS316L
膜片DiaphragmSUS316L
密封垫SeatPTFE、PCTFE或PEEK