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日立球差校正扫描透射电子显微镜 HD-2700

日立科学仪器(北京)有限公司

企业性质生产商

入驻年限第7年

营业执照已审核
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日立球差校正扫描透射电子显微镜 HD-2700 核心参数
电子枪: 钨灯丝
放大倍数: 200x - 10,000,000x

产品简介

日立球差校正扫描透射电子显微镜 HD-2700

日立球差校正扫描透射电子显微镜 HD-2700.png


HD-2700是一款200kV的场发射球差校正描透射电镜。相比于普通的透射电镜,HD-2700采用球差校正技术,大大减小了透镜球差对分辨率的影响,从而可以实现超高分辨率的观察。同时,HD-2700是目前少数以扫描透射(STEM)功能为主的透射电镜,大会聚角的STEM功能配合场发射电子枪和球差校正技术可以使HD-2700获得亚纳米的电子束,使得原子分辨率的图像观察和元素分析成为了可能,大大提高了电镜的观察和分析能力。


主要特点

高分辨观察

利用金颗粒保证0.144nm分辨率DF-STEM像(标准型)。

大束流分析

约为非校正的STEM探针电流的10倍,可以进行高速、高灵敏度能谱分析,可以在更短的时间内获得元素的面分布图,使得检测微量元素成为可能。

简化的操作

提供了专用的GUI自动调节球差校正器。

整体的解决方案

样品杆与日立FIB兼容,提供了纳米尺度的整体解决方案,从制样到数据获得和分析。

多种评价和分析功能可选

可同时获得和显示SE&BF、SE&DF、BF&DF、DF/EDX和DF/EELS像;可以配备ELV-2000型实时元素Mapping系统(DF-STEM像可以同时获得);可以同时观察DF-STEM像和衍射像;可以配备超微柱头样品杆进行三维分析(360度旋转)等。



项目

主要参数

电子枪

冷场或热场发射电子枪

加速电压

200kV120kV*

 

线分辨率

0.144nm(标准型,配有球差、冷场或热场)

0.136nm(高分辨型,配有球差、冷场)

0.204nm(标准型,配有热场,无球差)

放大倍率

200x - 10,000,000x

图像模式

BF-STEM相衬度像(TE)DF-STEM原子序数衬度像(ZC)、二次电子像(SE)、电子衍射花样(可选)、特征X射线像(可选:EDX)EELS(可选:ELV-2000)

电子光学

电子枪:冷场或热场发射电子枪,内置阳加热器

透镜系统:两聚光镜、物镜、投影镜

球差校正器:六/传输 双重(标准型和高分辨型)

扫描线圈:两电磁线圈

电位移:±1μm

样品杆

侧插式,X=Y=±1mmZ=±0.4mm T=±30°(单倾样品杆)

应用领域


HD-2700作为一款场发射球差校正的扫描透射电镜,不仅具有高分辨率的图像观察能力,同样具有高空间分辨率的分析能力,配合EELS和EDS可以实现原子元素的分析。HD-2700具有多种成像模式,可以满足大部分样品的观察需求,其中日立特有的SE成像模式可以获得透射电镜无法获得的样品表面的信息,同时又比普通扫描电镜具有更高的分辨率,可以实现对样品表面的高分辨观察。      

 

应用文章:

[1] Ciston1, J., Brown2, H. G., D`Alfonso2, A. J., Koirala3, P., Ophus1, C., Lin3, Y., Suzuki4, Y., Inada5, H., Zhu6, Y. & Marks3, L. D. Surface determination through atomically resolved secondary electron imaging.Nature Communications,2005,6, 7358-7365.

[2] Zhu1*, Y., Inada2, H., Nakamura2, K. & Wall1, J. Imaging single atoms using secondary electrons with an aberration-corrected electron microscope.Nature Materials,2009,8, 808-812.


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