企业性质生产商
入驻年限第6年
电子枪: | 钨灯丝 |
加速电压: | 1kV to 30kV |
放大倍数: | 20x~60,000x |
分辨率: | 15nm (30kV, SE Image) |
抽真空时间: | 3分钟以内 |
主要技术参数:
1、分辨率: 15nm (30kV, SE Image)
20nm (30kV, BSE Image)
2、放大倍率:20x~60,000x (有效放大倍率30,000x)
3、加速电压 :1kV to 30kV (1/5/10/15/20/30Kv-6 step)
4、观察图像:
二次电子图像
背散射电子图像(COMPO,TOPO)
二次电子和背散射电子双重像
二次电子和背散射电子合成像
5、观察模式: 标准观察模式及BSE+低真空观察模式
6、电子枪系统:
灯丝类型:预对中钨灯丝,带韦氏帽
偏压系统:自动偏压方式
电子枪手动校正
7、透镜构成
聚光镜 : 2段式磁线圈透镜
物镜 : 1段式磁线圈透镜
8、探测器类型
E-T Detector (SE) / Solid state (4channel-BSE)
9、载物台系统:3轴操控
载物台移动范围:X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360°
10、图像光斑调整最大进程: X, Y Image Shift 150㎛(±75)
11、样品最大尺寸 :
70mm*70mm* 30mm
图像扫描速度
快速扫描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)
低速扫描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)
图片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.)
图片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.)
图片模式3(Photo Mode 3): 5120x1920 (Scan time: 120sec.)
自动功能
自动启动,自动聚焦,自动亮度对比度调节
图像存储方式
BMP, JPEG, PNG
数据显示
放大倍率,探测器类型,电压,真空模式,文本,标尺等
真空系统
全自动型/高者空模式+低真空模式(Multi mode)
-(旋转式机械泵)Rotary Pump/100Liters/min
-(涡轮式分子泵)Turbo Molecular Pump/ 80Liters/sec