无磁光学平台

■隔振支撑为优质钢管焊接而成，整体坚固可靠。

■工作压力为0.35～0.6Mpa，标准配置调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工作，用户只需要将气管连接进气口，就能使装置正常发挥隔振功能，气源可通过小型空气压缩机或氮气瓶供给，便于在安静场合使用。

技术指标：

■平面度：< 0.05mm/㎡

■表面粗糙度：< 0.8μm

■固有频率；x方向：1.2Hz～2.0Hz  y方向：1.2Hz～2.0Hz

■振幅：< 1.2μm
■荷载能力：800kg/㎡

■重复定位精度：±0.05mm