SPIN150i匀胶机

匀胶机工作原理：

    匀胶机（spin coater）的工作原理是高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上，匀胶机常用于各种溶胶凝胶（Sol-Gel）实验中的薄膜制作，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。

三、匀胶机主要性能指标：

1、腔体直径：8英寸 (202 毫米)；

2、Wafer芯片尺寸：10-160mm直径的材料，4英寸方片；

3、转速范围: 1~12000RPM**，±1rpm steps；

4、zui大加速度：30000RPM/S；

5、转速精度: ±0.1rpm；

6、程序段数：无限制；

7、操作步数：无限制；

8、旋转时间：无限制*，±0.1 Second steps；

9、旋转方向：顺时针，逆时针，交换摆动；

10、扩展接口：1个USB接口；

11、马达保护：20-50kPa,2-5l/min,Tube OD Ø 6mm（可关闭）；

12、排废连接：1” M-NPT；

13、触屏控制：全彩触摸屏控制界面；

主营产品： 

Laurell匀胶机     

Harrick等离子清洗机   

Uvitron紫外固化箱

NXQ紫外曝光光刻机       

Novascan紫外臭氧清洗机

Wenesco/EMS/Unitemp加热板   

Kinematic程序剪切仪

Laurell EDC系统，湿站系统     

Wabash/Carver自动压片机     

公司名称:迈可诺技术有限公司

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