匀胶机(英文名：Spin Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜
详细介绍：匀胶机(英文名：Spin Coater& Spin Processor)
行业俗称：匀胶台、匀胶机、旋涂仪、涂胶机、镀膜机、甩胶机 1、 匀胶机工作原理： 匀胶机（spin coater）的工作原理是高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上，匀胶机常用于各种溶胶凝胶（Sol-Gel）实验中的薄膜制作，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。 2、匀胶机型号及技术参数如下： 型号 | SPIN150i | SPIN200i | POLOS300 | POLOS450 | 基片范围 | 直径160mm or 4ʺ方片 | 直径260mm or 6ʺ方片 | 直径360mm or 8ʺ方片 | 直径460mm or 350mm方片 | 程序段数 | 无限制 | 无限制 | 无限制 | 无限制 | 操作步数 | 无限制 | 无限制 | 无限制 | 无限制 | 旋转速度 | 0-12,000 rpm ±1rpm steps | 0-12,000 rpm ±1rpm steps | 0-12,000 rpm ±1rpm steps | 0-1500rpm ±1rpm steps | 旋转精度 | ±0.1 rpm | ±0.1 rpm | ±0.1 rpm | ±0.1 rpm | 旋转方向 | 顺时针、逆时针、交换摆 | 顺时针、逆时针、交换摆 | 顺时针、逆时针、交换摆 | 顺时针、逆时针、交换摆 | 最大加速度 | 30,000 rpm/sec | 30,000 rpm/sec | 30,000 rpm/sec | ≤1500rpm时取决于负载 | 旋转时间 | 无限制*,± 0.1 seconds steps | 无限制*,± 0.1 seconds steps | 无限制*,± 0.1 seconds steps | 无限制*,± 0.1 seconds steps | 腔体直径 | 202 mm | 302 mm | 402 mm | 502 mm | 外形尺寸 (w*h*d ) | 274 x 250 x 451 mm | 380 x 307 x 559mm | 430 x 310 x 650mm | 795 x 638 x 922mm | 触屏控制 | 全彩触屏控制 | 全彩触屏控制 | 全彩触屏控制 | 全彩触屏控制 | 设备重量 | 14Kg | 20Kg | 32Kg | 75Kg | 电源参数 | 220V,50/60 Hz | 220V,50/60 Hz | 220V,50/60 Hz | 220V,50/60 Hz |
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