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产品简介
半导体/FPD检查显微镜
 | MX61A是一款专门设计的半导体显微镜，可操作人员以正确的人体工程学姿势进行操作，有利于操作人员在长时间的工作中顺利进行检测。采用了新颖的光学系统(UIS2)，特别增强了明视场、暗视场的性能，从而提高了辨别和确认缺陷的能力。 |
 | MX61L / MX61, 300 mm/200 mm半导体检查显微镜通过各种观察方法 - 明视场法、暗视场法、微分干涉法(DIC)、荧光法、红外线法和深紫外线法，保证了卓越的图像分辨率和鲜明度。 |
 | MX51工业检查显微镜是一款高性价比的显微镜，适用于各种电子元件、晶圆和大型样本的观察需求。MX51主要操作部件集中在前面，操作人员易于操作，即使长时间操作也不会感到疲劳。专用150mm载物台内置离合器，可实现轻松移动。 |
 | MX-IR/BX-IR是像透过玻璃似的可透视红外线显微镜。适用于封装芯片、晶圆级CSP/SIP的非破坏检查。使用近红外线显微镜，可以在不破坏封装的前提下，透过硅观察IC芯片内部。对必需用FIB(Focused Ion Beam)处理位置的指定也有效。 |
 | AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP(装载口)和FOSB，适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时(包括薄晶圆和变形晶圆)的效率和安全。 |
 | AL120晶圆搬送机可对应200mm以下晶圆尺寸的硅、化合物晶圆，可以安全高效搬送薄片晶圆，非常适合于前道到后道工程的晶圆检查。 |
体视显微镜
 | SZX16通用显微镜是根据检测应用的需求设计的，0.7x - 11.5x，变倍比可达16.4倍，分辨率可达900 LP/mm。能够满足广泛的研究需求。 |
 | SZX10是可再现样品自然颜色和形貌的应用领域较为广泛的高级系统体视显微镜。宽范围的变倍比(10倍)，工作距离81mm，开口数0.1(采用1倍物镜时)。可提供高光学性能和舒适的操作环境。 |
 | SZX7体视显微镜，价格适中、操作简便、观察舒适，并配有7:1变焦率功能和内置防静电保护装置，采用了先进的伽利略光学系统，可生成优异的高画质图像。 |
 | SZ51和SZ61显微镜配有内置防静电保护装置，可生成具有优异景深、清晰、细致、颜色逼真的图像。其可靠、高性能的光学部件是保证精确观测结果的核心。 |
测量显微镜
 | STM6-LM显微镜拥有亚微米级的精度，实现了优异的通用性，可对各种零部件和电子元件进行高性能的三轴测量。低倍率选项使之成为精密工具制造者的理想选择。 |
 | STM6显微镜拥有亚微米级的精度，实现了优异的通用性，可对各种零部件和电子元件进行高性能的二轴或三轴测量。低倍率选项使之成为精密工具制造者的理想选择。 |
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