氦质谱检漏仪 A500

安徽歌博科技A500型干泵氦质谱检漏仪，灵敏度高、操作便捷、低维护，使您放心得到准确可靠的测试结果。

产品广泛应用于科研院所、航空航天、半导体、半导体气柜，光伏等行业。

功能描述
支持正压检漏，负压检漏
自动跟踪本底，提供快速可靠的测量结果
优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应
高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦
支持氮气破空，不受环境氦气干扰，快速降低本底
机器卓越的性能支持7*24小时长时间在线测试
机器卓越的性能支持几秒一次的高频率测试
配有检漏口精细过滤器，过滤细微杂质，确保机器不受杂质影响和损伤
双铱丝离子源，有效的系统设计，防大气冲击
支持定制检漏工作台，更加便捷使用

技术参数
最小可检漏率（负压模式） 5×10-13Pa·m3/s
最小可检漏率（正压模式） 1×10-8Pa·m3/s
检漏口压强 粗检 1500Pa
中检 200Pa
精检 40Pa
响应时间 ＜1s
启动时间 ≤3min

前级涡旋干泵抽速 10m3/h 
外形尺寸（W×D×H） 845×465×988
重量 80Kg