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精密铸造真空烧结真空镀膜CVD实验金属热处理电炉

上海微行炉业有限公司

企业性质生产商

入驻年限第7年

营业执照已审核
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精密铸造真空烧结真空镀膜CVD实验金属热处理电炉 核心参数
仪器分类: 管式炉
内部尺寸: 可定制
稳定性: 可定制
最高温度: 1200

MXGH1200-PECVD型等离子增强化学气相沉积系统

产品简介:此款设备配有Plasma实现等离子增强,滑轨式设计在操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。并可选配气氛微调装置,可准确的控制反应腔体内部的气体压力,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常简单实用,工艺重复性好,对于石墨烯生长工艺非常合适,也同样适用于要求快速升降温的CVD实验。

主要功能和特点:


1、利用辉光放电产生等离子体电子激活气相;

2、提高了气相反应的沉积速率、成膜质量;

3、可通过调整射频电源频率来控制沉积速率;

4、能广泛用于:石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生长。



滑轨管式炉技术参数




石英管尺寸L1400mm  Φ(60、80、100)

加热元件掺钼铁铬铝合金电阻丝

测温元件K型热电偶

加热区长度400mm  

恒温区长度200mm

工作温度≤1100℃

控温模式模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

控温精度±1℃

升温速率≤20℃/min

电功率AC220V/50HZ/3KW

质量供气系统技术参数





外形尺寸600x600x600mm

标准量程50sccm(CH4)、200sccm(H2)、500sccm(Ar、N2); 

压力表测量范围-0.1Mpa~0.15Mpa

极限压力3MPa

针阀316不锈钢

截止阀Φ6mm 316不锈钢针阀

电功率AC220V/50HZ/20W

响应时间气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

准确度±1.5%

线性±0.5~1.5%

重复精度±0.2%

接口Φ6,1/4'

真空系统技术参数

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