微光显微镜PHEMOS系列

微光显微镜PHEMOS系列

特性

• 软件环境和用户界面与高端模型一致

• 操作简单

• 可安装300 mm手动探针

显示功能

PHEMOS-200将发光图像叠加到高分辨率模板图像上来快速定位缺陷点。对比度增强功能可使图像更清晰，细节更多。
显示功能

• 注释
  图像的任何位置都可以显示评论、箭头等注释符号。

• 比例显示
  可使用分段，在图像上显示比例宽度。

• 栅格显示
  图像上可现实水平和垂直栅格。

• 缩略图显示
  图像可以以缩略图的形式存储和调用，stage坐标等图像信息也可显示。

• 分屏显示
  模板图像、发光图像、叠加图像以及参考图像可一次显示在4个窗口的屏幕上。

参数

*1：PHEMOS主单元重量包含一个探针或等效重量。