微光显微镜PHEMOS系列

微光显微镜PHEMOS系列

PHEMOS-1000是一款标准型高分辨率微光显微镜，其包含了一个红外共焦激光显微镜。PHEMOS-1000可根据设备环境和设备装置来灵活改变包括插座板到300mm双面晶片探针等等的部件。它还可以适配高灵敏度近红外相机和高分辨率纳米透镜等选配件。该显微镜有多种选配，包括红外-光致阻值改变（IR-OBIRCH）分析、与大规模集成电路测试机连接和CAD导航功能等，这些选配有助于该显微镜处理多种测量需要。

黑盒照明灯含水银，请根据当地法规处理。

特性

• 可选配适用于高分辨率、高灵敏度观测的纳米透镜

• 红外共焦激光显微镜

• 红外-光致阻值改变（IR-OBIRCH）分析功能（选配）

• 低电压样品用高灵敏度近红外相机（选配）

• 数字lock-in组件加强红外-光致阻值改变的检测能力（选配）

• 可安装300mm双面半自动探针

显示功能

PHEMOS-1000将发光图像叠加到高分辨率模板图像上来快速定位缺陷点。对比度增强功能可使图像更清晰，细节更多。
显示功能

• 注释
  图像的任何位置都可以显示评论、箭头等注释符号。

• 比例显示
  可使用分段，在图像上显示比例宽度。

• 栅格显示
  图像上可现实水平和垂直栅格。

• 缩略图显示
  图像可以以缩略图的形式存储和调用，stage坐标等图像信息也可显示。

• 分屏显示
  模板图像、发光图像、叠加图像以及参考图像可一次显示在4个窗口的屏幕上。

参数

*1：根据需求选购。 *2：PHEMOS主单元重量包含一个探针或等效重量。