扫描探针显微镜/压电响应力（PFM）

压电响应力显微术 (PFM)

生物材料与铁电材料等的成像

许多材料的机电耦合行为，如生物基细胞膜和蛋白质，铁电和压电材料从现

在开始都可以用压电响应力显微镜来表征。

这一成像技术在开发基于铁电畴变等的新型电子设备方面引起了极大的关

注，在对将来电脑存储等领域的诸多应用方面的发展有着巨大的潜力。

压电响应力显微术是在扫描探针显微镜的基础上，在接触式扫描过程中对探

针施加一个交流电压，利用材料自身逆压电效应来探测样品表面形变的一类技术

总称（见图1）。压电响应力显微术已经成为铁电材料研究的重要手段，广泛应

用于纳米尺度畴结构的三维成像、畴结构的动态研究、畴结构控制和微区压电、

铁电、漏电等物理性能表征等领域。其最大的优势就是同时具有极高的分辨率

（~10-20 nm）和灵敏度（~0.1 pm/V）。