Microsense 5810/6810电容式位移传感器

电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器，具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。

　　电容式位移传感器：非接触式高分辨率近距离位移测量
 

　　美国Microsense公司(前身是ADE Technologies, KLA_TENCOR的子公司)开创了高辨率电容式位移传感器的先河，致力于为客户提供以艺术级别性能的高精度非接触式微位移传感器。
 

　　电容式位移传感器特性
 

　　1.*非接触式电容式微位移测量—准确的电子感应技术, 无损样品测量
 

　　2.优化的近距离测量—测量距离在10微米到5毫米
 

　　3.高准确性，高灵敏性测量，精度可达0.5nm。
 

　　4.可探测任何可传导性、接地的测量目标—表面是否抛光以及材质对测量准确度无任何影响
 

　　5.用途广泛: 金属薄片厚度测量,振动测量,工作台垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)测量,精密马达转轴偏振测量(Axial, Radial, Spindle runout),精密仪器工作平台定  位，设备自动聚焦测量(微影设备，原子力显微镜，光罩探测，图像确认，LCD生产设备…)
 

　　4800系列            5800系列6800系列8800系列       6360厚度测量系统
 

　　4800系列    以至优化的线性和稳定性著称, 一款多功能测量设备
 

　　5800系列    以高动态测量著称--高分辨率测量，可达100Khz 带宽测量，可靠性测量甚至达触
 

　　地物例如气动转子和马达
 

　　6800系列    拥有皮米级别噪声分辨率
 

　　8800系列   以拥有*好的线性和稳定性系统著称，测量带宽高达20K HZ,纳米级分辨率，超低
 

　　噪声上乘的伺服定位反馈系统设计
 

　　Mini系列      迷你压缩型传感器测量系统
 

　　6360系列      非接触式，高精度测量硅片、CD、DVD、光盘厚度

       圆柱型测量探头       45°倾角测量探头      矩型测量探头          直角型测量探头
 

　　圆柱型测量探头探头直径0.5mm 到5mm 可选
 

　　45°倾角测量探头  可紧贴圆柱形被测物测量
 

　　矩型测量探头  测量马达及轴向转动物时可提供*大分辨率
 

　　直角型测量探头用于测量受限空间测量
 

　　设备应用

定位测量系统应用：远程位置调节器的伺服反馈系统应用
 

　　间距和位移测量应用 ：空间测量及检测  轴向位移测量
 

　　转动测量系统应用：马达精度和转轴转动测量  转轴测量计精度校准测量  直线和平面平台精度测量
 

　　厚度测量系统应用：磁性介质厚度测量 光盘厚度测量
 

　　自动聚焦和归零测量应用：半导体硅片测量
 

　　振动测量系统应用：样品台精度振动测量 转轴振动精度测量 主动性防震系统反馈测量
 

　　设备性能及主要参数
 

　　1.量程：       ±25µm 到±1000µm满量程测量
 

　　2.分辨率：   优于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz
 

　　3.带宽：  1 kHz, 5 kHz, 20 kHz, 100 kHz 可选